SPM去胶机

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发布日期2010-9-6 11:50:10
详细说明1.SPM去胶机用于8”硅片的去胶工艺
2.触摸屏+PLC控制系统,
3.本设备主要由本体、工艺槽、上下料工位、机械臂、层流净化系统、排风系统、电气控制系统和管路系统等组成,不锈钢架外包瓷白PP板,德国进口板
4.槽体为5个:机械手清洗槽1个,SPM槽2个(采用石英缸贴膜),QDR槽1个,硅片干燥槽1个(设有独立的慢提升装置),
5.报警、指示、急停、温控系统。
6.水枪,气枪各
7.SPM去胶机配备20W封闭日光灯。


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